Optimized test pattern selection with machine learning method
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2024年2月19日
spiedigitallibrary.org
You start with a pattern layout. Run the etch process. The result? You get uneven depths — some areas too shallow, others too deep. That’s where design-level solutions come in. With dummy patterning and virtual process modeling, engineers simulate how etchants behave across different layout geometries before ever touching a wafer. Learn more via the blog. https://bit.ly/44btHGe | Lam Research Corporation
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2024年8月20日
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2020年9月24日
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