光波导可以用在很多领域，VR眼睛、光纤分路器等等，而采用PECVD是一种常用且容易控制参数的工艺手段。 PECVD是利用辉光放电产生的非平衡等离子体激活反应气体，使之电离，从而获得离子、原子和大量的活性基团，并发生化学反应，在衬底上沉积薄膜。